一种照明系统

摘要

本发明涉及一种照明系统，沿光束的传播方向依次包括光源、滤波片、快门、耦合组、石英棒、中继组以及掩膜面，所述耦合组采用非球面镜片，所述滤波片、非球面镜片、石英棒以及中继组位于同一光轴上，所述光源发出的光束经所述滤波片滤波，再经过所述快门入射至所述非球面镜片上，经过所述非球面镜片耦合后的光束经过所述石英棒匀光后入射至所述中继组，经所述中继组放大后成像在所述掩膜面上。本发明采用非球面镜片作为耦合组，减少耦合组镜片数量，提高系统的透过率，同时减小耦合系统的球差，提高系统的耦合效率；滤波片放置在光源与快门之间，大大降低了快门及耦合组的温度，提高了快门及耦合组的使用寿命。

主权项

一种照明系统，其特征在于，沿光束的传播方向依次包括光源、滤波片、快门、耦合组、石英棒、中继组以及掩膜面，所述耦合组采用非球面镜片，所述滤波片、非球面镜片、石英棒以及中继组位于同一光轴上，所述光源发出的光束经所述滤波片滤波，再经过所述快门入射至所述非球面镜片上，经过所述非球面镜片耦合后的光束经过所述石英棒匀光后入射至所述中继组，经所述中继组放大后成像在所述掩膜面上。