一种基于MEMS的海洋湍流传感器

摘要

本发明涉及一种基于MEMS的海洋湍流传感器，是基于MEMS感测原理来实现海洋湍流信号采集的。其包括传感单元和信号处理单元，所述传感单元为压阻式膜梁结构，包括硅膜、敏感梁和支撑基，所述硅膜为薄片状硅基材料，所述敏感梁的一端与硅膜连接，敏感梁另一端与支撑基内侧边相连，所述敏感梁表面设有四个压敏电阻R₁、R₂、R₃、R₄，四个压敏电阻根据所在区域的应力分布规律进行布置，连接成一个惠斯通电桥，所述信号处理单元可自动处理信号并计算得到所需数据。本发明的有益效果在于采用了基于压阻式感测原理的MEMS梁膜结构，在灵敏度增强的同时也提高了传感器的响应速度；应用MEMS微型化设计制造工艺，减小了传感器的核心部件尺寸。

主权项

一种基于MEMS的海洋湍流传感器，其特征在于：包括传感单元和信号处理单元，所述传感单元为压阻式膜梁结构，包括中央硅膜、敏感梁和支撑基，所述中央硅膜为薄片状硅基材料，所述敏感梁的一端与中央硅膜连接，敏感梁另一端与支撑基内侧边相连，所述敏感梁表面设有四个压敏电阻R₁、R₂、R₃、R₄，四个压敏电阻根据所在区域的应力分布规律进行布置，连接成一个惠斯通电桥，所述信号处理单元可自动处理信号并计算得到所需数据。