一种电子级高纯氯气的制备方法及装置

摘要

本发明涉及一种电子级高纯氯气的制备方法及装置。氯气原料从脱水塔塔底进入，脱水塔顶部加入四氯化硅，四氯化硅与氯气原料中的水反应从而将水分脱除，脱水塔塔顶采出少量轻组分，由于四氯化硅与水反应为放热反应，因此脱水塔塔釜采出一部分经中间取热冷凝器冷却后返回脱水塔中部，另一部分作为原料进入四氯化硅塔；四氯化硅塔塔顶气相采出进入分凝器，液相回流，气相作为原料进入脱轻塔，塔釜采出未反应的四氯化硅。脱轻塔塔顶气相采出进入分凝器，液相回流，气相作为轻杂质采出，塔釜采出作为原料进入氯气塔。氯气塔塔顶采出纯度≥99.9999％的氯气。装置简单，易于实现，大大提高了企业的经济效益和社会效益。

主权项

一种电子级高纯氯气的制备装置，包括由脱水塔、四氯化硅塔、脱氢塔、氯气塔组成的精馏系统，其特征是氯气原料从脱水塔T101塔底进入，脱水塔T101顶部加入四氯化硅，四氯化硅与氯气原料中的水反应从而将水分脱除，脱水塔T101塔顶采出少量轻组分，由于四氯化硅与水反应为放热反应，因此脱水塔T101塔釜采出一部分经中间取热冷凝器E101冷却后返回脱水塔T101中部，另一部分作为原料进入四氯化硅塔T102。四氯化硅塔T102塔顶气相采出进入分凝器E201，液相回流，气相作为原料进入脱轻塔T103，塔釜采出未反应的四氯化硅。脱轻塔T103塔顶气相采出进入分凝器E301，液相回流，气相作为轻杂质采出，塔釜采出作为原料进入氯气塔T104。氯气塔T104塔顶采出氯气，塔釜采出重杂质。