一种补偿系统及高次非球面检测装置和方法

摘要

一种补偿系统、高次非球面检测装置及方法，该补偿系统包括多块共轴的光学镜片，所述多块光学镜片中设有一块分光镜，该分光镜的一个表面为二次非球面表面，该二次非球面位于所述补偿系统的中间位置，光线将垂直入射到上述二次非球面表面，部分光线经反射按原光路返回形成标准光，另外部分光线则从该面垂直透射形成测量光。由于测量光和标准光在分光镜之前的光学系统光路，使得这些元件的面形误差、系统装配精误差，偏心误差、材料折射率均匀性以及装卡应力造成的不利影响均被抵消，对加工装配精度要求大大下降，这有利于给各种装配偏差留出误差空间，能够达到更高检测精度，并确保最终检测精度可靠有效。

主权项

一种补偿系统，应用于非球面检测装置中，包括多块共轴的光学镜片，其特征在于：所述多块光学镜片中有一块分光镜，该分光镜位于所述补偿系统的中间位置，在该分光镜之前，至少设置1块或1块以上的光学镜片，在该分光镜之后，也至少设置1块或1块以上的光学镜片，当光线从所述分光镜的正面入射至反面后发生分光，部分光线经反面反射按原光路返回，另外部分光线则从该反面透射，所述分光镜的反面为一种二次非球面，该二次非球面被设计成当光线按正方向入射至该二次非球面时，波矢传播方向与该二次非球面的法向矢量平行；所述二次非球面上设有对透射光的占比进行调整的光学镀膜。