一种低成本高灵敏激光探针元素分析仪

摘要

本发明公开了一种低成本高灵敏激光探针元素分析仪，包括脉冲激光器，分束镜，激光能量计探头、数字延迟脉冲发生器、数据采集卡、激光能量计、计算机、第一会聚透镜和光电倍增管，第一会聚透镜位于分束镜的反射光路上，等离子体信号采集光学系统用于在被测对象的一侧、从水平方向对激光等离子体信号进行采集，它包括依次排列的第二会聚透镜、可调狭缝、第三会聚透镜、窄带滤光片和第四会聚透镜，可调狭缝宽度能在0～10mm范围连续调节，用于对等离子体发射光信号进行空间选择；光电倍增管的入光口位于第四会聚透镜焦点处。本发明特别适用于物质成分的在线检测，具有成本低，检测灵敏度高，检测速度快的特点，具有广泛的应用前景和市场。

主权项

一种激光探针元素分析仪，包括脉冲激光器(1)，分束镜(2)，激光能量计探头(3)、数字延迟脉冲发生器(12)、数据采集卡(13)、激光能量计(14)和计算机(15)；分束镜(2)位于脉冲激光器(1)的出光光路上，激光能量计探头(3)位于分束镜(2)的透射光路上，激光能量计(14)与激光能量计探头(3)连接；其特征在于，它还包括第一会聚透镜(4)和光电倍增管(11)，第一会聚透镜(4)位于分束镜(2)的反射光路上，所述等离子体信号采集光学系统用于在被测对象的一侧、从水平方向对激光等离子体(5)信号进行采集，所述激光等离子体(5)由位于第一会聚透镜(4)焦点处的待测样品产生；所述等离子体信号采集系包括依次排列的第二会聚透镜(6)、可调狭缝(7)、第三会聚透镜(8)、窄带滤光片(9)和第四会聚透镜(10)，其中可调狭缝(7)的宽度能够在0～10mm范围连续调节，可调狭缝(7)用于对等离子体的发射光信号进行空间选择；光电倍增管(11)的入光口位于第四会聚透镜(10)的焦点处，用于对等离子体的光信号进行有效探测和光电转换；所述光电倍增管(11)的出口端分别与数字延迟脉冲发生器(12)和数据采集卡(13)相连，数字延迟脉冲发生器(12)还与脉冲激光器(1)和计算机(15)相连，数据采集卡(13)与计算机(15)连接，数据采集卡(13)用于采集所转化的电信号并传输到计算机(15)进行显示和分析。