一种用于表面平坦化加工的研磨垫及其制法

摘要

一种用于表面平坦化加工的研磨垫，断面结构呈现分层效果的不同硬度层，兼备软/硬复合垫特性，不但具较高的研磨切削性能，且具缓冲能力；所述研磨垫的制造方法，是取一聚酯纤维布，经过浸渍热塑性树脂后，在水中使纤维布产生絮凝而成为多孔性的纤维布浸渍体，对该浸渍体施予单面或双面热处理加工，使受热面及未受热面的孔洞产生不同的结构变化，进而制成一体化结构且具有软硬复合垫特性的研磨垫，其中受热面硬度高、具高切削研磨功能，未受热面硬度较低、具缓冲功能，用于晶圆表面平坦化加工，晶圆表面的研磨受力分布均匀。

主权项

一种用于表面平坦化加工的研磨垫的制法，包括以下步骤:1)制备浸渍用树脂溶液，基于树脂溶液总重量，包含下列a)～h)成分，其中固型份占8‑30wt％，且以下各成分的总和为100％：a)树脂，占12.5‑22wt％，其中该树脂包括聚酯型或聚醚型聚胺酯树脂70‑95wt％及聚氯乙烯树脂5‑30wt％；b)N,N‑二甲基甲酰胺(DMF)溶剂或二甲基乙酰胺溶剂，占60‑85wt％；c)界面活性剂，占2‑12wt％；d)消泡剂，占0.1‑1wt％；e)拨水剂，占0.1～3wt％；f)增塑剂，占0.1～3wt％；g)无机粉体，占0.1～3wt％；且选自球型或不规则二氧化硅(SiO₂)、二氧化钛(TiO₂)、氢氧化铝(Al(OH)₃)、氢氧化镁(Mg(OH)₂)、碳酸钙(CaCO₃)或熏硅石的其中一种或一种以上；h)稳定剂，占0.1～2wt％；2)选取纤维布，经浸渍，使步骤1)的树脂溶液充填入所述纤维布；3)在水中或在浓度为10‑30wt％的二甲基甲酰胺(DMF)水溶液中，使步骤2)的纤维布结构中的树脂产生絮凝，经洗涤、干燥，取得预制的纤维布浸渍体；4)以IR灯管或电热板加热，对步骤3)的纤维布浸渍体，施予单面或双面热处理，加热温度为180～230℃，加热时间为8～180秒，制得具不同硬度层的改性多孔性材料；5)以剖片及研磨方式，除去步骤4)的改性多孔性材料的外皮，制得厚度介于0.8‑4.0mm的研磨垫。