图形化平面磁芯双层平面螺旋结构薄膜微电感及制备方法

摘要

本发明提供一种图形化平面磁芯双层平面螺旋结构薄膜微电感及制备方法，包括：由底层薄膜磁芯和顶层薄膜磁芯组成的薄膜磁芯，由上层平面螺旋线圈和下层平面螺旋线圈组成的双层平面螺旋结构线圈，两个引线，两个引脚，以及绝缘材料；方法为：溅射Cr/Cu种子层、甩胶、光刻、显影、电镀、制作薄膜磁芯结构；甩聚酰亚胺并烘干固化、抛光；溅射Cr/Cu种子层、甩胶、光刻、显影、电镀、制作双层平面螺旋结构线圈、两个引线及两个引脚；甩聚酰亚胺并烘干固化、抛光；溅射Cr/Cu种子层、甩胶、光刻、显影、电镀、制作图形化磁芯结构。本发明大大降低了微电感器件的高频损耗，有效提高了器件的高频性能。

主权项

一种图形化平面磁芯双层平面螺旋结构薄膜微电感，其特征在于，包括：由底层薄膜磁芯和顶层薄膜磁芯组成的薄膜磁芯，由上层平面螺旋线圈和下层平面螺旋线圈组成的双层平面螺旋结构线圈，第一引线，第二引线，下层平面螺旋线圈引脚，上层平面螺旋线圈引脚，以及绝缘材料；其中：所述上层平面螺旋线圈、下层平面螺旋线圈位于底层薄膜磁芯和顶层薄膜磁芯之间；所述底层薄膜磁芯位于衬底上方，所述第一引线为上层平面螺旋线圈与下层平面螺旋线圈之间的引线，所述上层平面螺旋线圈与下层平面螺旋线圈通过第一引线连通；所述上层平面螺旋线圈引脚与下层平面螺旋线圈引脚在同一平面；所述下层平面螺旋线圈引脚通过第二引线连通上层平面螺旋线圈，并与上层平面螺旋线圈引脚在同一平面；所述底层薄膜磁芯与下层平面螺旋线圈之间、所述顶层薄膜磁芯与上层平面螺旋线圈之间、所述上层平面螺旋线圈与下层平面螺旋线圈之间，以及所述上层平面螺旋线圈、下层平面螺旋线圈与第一引线、第二引线之间均通过绝缘材料隔开。