石墨烯薄膜连续生长支撑结构

摘要

一种石墨烯薄膜连续生长支撑结构，包括安装在加热真空腔室中的导轨，所述导轨安装在加热真空腔室内壁相对设置的支承座之间，所述导轨与对应加热真空腔室内壁之间设置有流通间隙，所述支承座设置有流通通道，所述流通通道一端与流通间隙相连，另一端位于导轨下方。石墨烯薄膜连续生长支撑结构通过导轨支撑生长石墨烯的衬底材料，能够减轻衬底材料在移动过程中发生振动，保证其能够充分与反应气体接触，提高石墨烯的生长质量。导轨将加热真空腔室分割成上下两部分，通过流通间隙和流通通道，使上下两部分气流流通，热量能够充分流动，使整个加热真空腔室内的温度均匀，衬底材料受热均匀，保证石墨烯的生长质量。

主权项

一种石墨烯薄膜连续生长支撑结构，其特征在于，包括安装在加热真空腔室(1)中的导轨(2)，所述导轨(2)安装在加热真空腔室(1)内壁相对设置的支承座(3)之间，所述导轨(2)与对应加热真空腔室(1)内壁之间设置有流通间隙(4)，所述支承座(3)设置有流通通道(5)，所述流通通道(5)一端与流通间隙相连，另一端位于导轨(2)下方。