一种压电薄膜泵及其制作方法

摘要

本发明公开了一种压电薄膜泵及其制作方法，自上到下包括盖板、压电膜、通道层及基板，盖板、压电膜、通道层及基板之间固定连接，压电膜的上表面及下表面对应镀有导电膜区，导电膜区包括压电薄膜泵的工作区电极以及与压电薄膜泵的工作区电极相连接的导通区域。盖板上开设有第一通孔，第一通孔正对压电膜上对应的压电薄膜泵的工作区电极，通道层上开设有流体通道，流体通道的一端与外界相连通，流体通道包括第二通孔、储液池通孔、收液池通孔及通道槽孔，所述第二通孔正对第一通孔，第二通孔与收液池通孔及储液池通孔之间均通过通道槽孔相连通。制作方法简单方便，在整个制作过程中完全可以不需要昂贵的设备，完全可以广泛推广，实用性强。

主权项

一种压电薄膜泵的制作方法，其特征在于，所述压电薄膜泵自上到下依次包括盖板(2)、压电膜(1)、用于为流体流动提供通道的通道层(3)、以及基板，盖板(2)、压电膜(1)、通道层(3)及基板之间相互连接；所述压电膜(1)的上表面及下表面正对镀有导电膜区，导电膜区包括压电薄膜泵的工作区电极(4)以及与压电薄膜泵的工作区电极相连接的导通区域(5)；所述盖板(2)上开设有第一通孔(6)，第一通孔(6)正对压电膜(1)上对应的压电薄膜泵的工作区电极(4)，通道层(3)上开设有流体通道，流体通道的一端与外界相连通，流体通道包括第二通孔(7)、储液池通孔(8)、收液池通孔(9)及通道槽孔(10)，第二通孔(7)正对第一通孔(6)，第二通孔(7)与收液池通孔(9)及储液池通孔(8)之间均通过通道槽孔(10)相连通；包括以下步骤：1)取一定形状的压电膜(1)，将压电膜(1)按照极化方向固定在夹具上，并在所述压电膜(1)的上表面及下表面分别镀导电膜，使压电膜(1)的上表面及下表面均形成镀膜区，所述镀膜区包括压电薄膜泵的工作区电极(4)及与压电薄膜泵的工作区电极相连接的导通区域(5)；2)取盖板(2)、通道层(3)及基板，再在盖板(2)上开设第一通孔(6)，并在通道层(3)上开设储液池通孔(8)、收液池通孔(9)、通道槽孔(10)、以及正对第一通孔(6)的第二通孔(7)，第一通孔(6)正对压电膜(1)上压电薄膜泵的工作区电极(4)，然后再将盖板(2)、压电膜(1)、通道层(3)及基板自上到下依次固定连接，最后给导通区域(5)上连接测试引线，得压电薄膜泵。