晶片传输装置

摘要

本发明提供一种晶片传输装置，其包括内部形成有抽气空腔的板体，该板体包括用于吸附晶片、且仅与晶片表面的边缘区域相接触的凹面，且在该凹面上形成有多个与抽气空腔相连通的抽气孔；在板体上还设置有抽气口，用以抽出抽气空腔内的气体。本发明提供的晶片传输装置，其不仅可以使用较小的负压吸附晶片，从而可以减少负压对腔室压力的影响，而且还可以提高在晶片表面产生的吸附力，提高吸附力分布均匀性。

主权项

一种晶片传输装置，其特征在于，包括内部形成有抽气空腔的板体，所述板体包括用于吸附晶片、且仅与晶片表面的边缘区域相接触的凹面，且在所述凹面上形成有多个与所述抽气空腔相连通的抽气孔；在所述板体上还设置有抽气口，用以抽出所述抽气空腔内的气体。