发明名称 微观缺陷检测装置及其控制方法、显微镜
摘要 本发明公开了一种微观缺陷检测装置及其控制方法、显微镜,属于显示技术领域。所述微观缺陷检测装置包括:检测组件和标记组件,所述检测组件和所述标记组件均设置在显微镜上,所述检测组件用于检测被测对象上存在微观缺陷的第一区域;所述标记组件用于在所述检测组件检测到所述第一区域后,采用第一标记印章标记所述第一区域中的微观缺陷。本发明解决了现有技术中微观缺陷检测装置的功能较单一的问题,实现了丰富了微观缺陷检测装置的功能的效果,用于检测微观缺陷。
申请公布号 CN106290376A 申请公布日期 2017.01.04
申请号 CN201610580102.4 申请日期 2016.07.21
申请人 京东方科技集团股份有限公司;北京京东方显示技术有限公司 发明人 王鹏;刘勋
分类号 G01N21/88(2006.01)I 主分类号 G01N21/88(2006.01)I
代理机构 北京三高永信知识产权代理有限责任公司 11138 代理人 滕一斌
主权项 一种微观缺陷检测装置,其特征在于,所述微观缺陷检测装置包括:检测组件和标记组件,所述检测组件和所述标记组件均设置在显微镜上;所述检测组件用于检测被测对象上存在微观缺陷的第一区域;所述标记组件用于在所述检测组件检测到所述第一区域后,采用第一标记印章标记所述第一区域中的微观缺陷。
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