发明名称 |
微观缺陷检测装置及其控制方法、显微镜 |
摘要 |
本发明公开了一种微观缺陷检测装置及其控制方法、显微镜,属于显示技术领域。所述微观缺陷检测装置包括:检测组件和标记组件,所述检测组件和所述标记组件均设置在显微镜上,所述检测组件用于检测被测对象上存在微观缺陷的第一区域;所述标记组件用于在所述检测组件检测到所述第一区域后,采用第一标记印章标记所述第一区域中的微观缺陷。本发明解决了现有技术中微观缺陷检测装置的功能较单一的问题,实现了丰富了微观缺陷检测装置的功能的效果,用于检测微观缺陷。 |
申请公布号 |
CN106290376A |
申请公布日期 |
2017.01.04 |
申请号 |
CN201610580102.4 |
申请日期 |
2016.07.21 |
申请人 |
京东方科技集团股份有限公司;北京京东方显示技术有限公司 |
发明人 |
王鹏;刘勋 |
分类号 |
G01N21/88(2006.01)I |
主分类号 |
G01N21/88(2006.01)I |
代理机构 |
北京三高永信知识产权代理有限责任公司 11138 |
代理人 |
滕一斌 |
主权项 |
一种微观缺陷检测装置,其特征在于,所述微观缺陷检测装置包括:检测组件和标记组件,所述检测组件和所述标记组件均设置在显微镜上;所述检测组件用于检测被测对象上存在微观缺陷的第一区域;所述标记组件用于在所述检测组件检测到所述第一区域后,采用第一标记印章标记所述第一区域中的微观缺陷。 |
地址 |
100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号 |