一种高折射率导电薄膜材料钛氧化物及其制备方法

摘要

一种高折射率导电薄膜材料钛氧化物，其化学式为TiOx，其中x在1.68—1.80之间。制备方法，包括：将原料钛氧化物和Ti按TiOx配料，其中x在1.68—1.80之间，混合均匀；采用热压成型或冷压成型方式成型，制成所需的形状；将材料放于坩埚或专门的工装中，转移至真空烧结炉内，对整个系统抽真空，并升温至1400～1800℃，最高温时保持2～8小时后，开始冷却，制备得钛氧化物材料。本发明提供了一种制作简单、成本低廉的透明导电薄膜材料钛氧化物。

主权项

一种高折射率导电薄膜材料钛氧化物的制备方法，包括如下步骤：步骤一：将原料钛氧化物和Ti按TiOx配料，其中x在1.68～1.80之间，混合均匀；步骤二：采用热压成型或冷压成型方式成型，制成所需的形状；步骤三：将材料放于坩埚或专门的工装中，转移至真空烧结炉内，对整个系统抽真空，并升温至1400～1800℃，最高温时保持2～8小时后，开始冷却，制备得钛氧化物材料；所述步骤一中的原料钛氧化物是采用一氧化钛、三氧化二钛、五氧化三钛不同价态的钛氧化物。