| 摘要 |
본 발명은 복합체 대량 합성장치, 복합체 합성장치용 반응기 및 이를 이용한 복합체 합성방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 서로 다른 둘 이상의 시료를 기화기에서 각각 기화시킨 후, 기체 상태의 시료가 전달되는 연결관에 비하여 상대적으로 큰 치수의 횡단면 직경을 가지고 연결관의 온도보다 낮은 온도로 유지되는 반응기에 시료를 유입시켜, 분말상의 복합체를 생성하고 생성된 복합체를 피착면에 정전기적으로 부착된 상태로 합성하는 복합체 대량 합성장치, 복합체 합성장치용 반응기 및 이를 이용한 복합체 합성방법을 제공한다. 본 발명에 의하면, 다중 금속 또는 금속-탄소 하이브리드 입자와 같은 이종 복합체의 대량생산이 가능하며, 합성된 복합체를 손쉽게 회수하여 타공정에 적용할 수 있게 되는 이점이 있다. 또한, 기체 상태의 전구체가 전달되는 연결관의 직경과 복합체 입자가 합성되는 반응기의 횡단면 직경을 조절함으로써, 금속판 표면에 합성되는 복합체 입자의 양을 용이하게 제어할 수 있는 효과가 있다. |
