Supporting Unit and Substrate Treating Apparatus

摘要

본 발명의 일 실시예에 따른 지지 유닛은, 상면에 피처리체를 지지하는 바디, 상기 바디 내에 배치되고, 상기 피처리체의 위치를 정렬하는 정렬 부재, 상기 정렬된 상기 피처리체의 위치를 센싱하는 센서 부재, 그리고 상기 정렬 부재 및 상기 센서 부재를 제어하는 제어기를 포함하되, 상기 정렬 부재는, 전자기력을 이용해 상기 피처리체를 정렬하는 자석부, 및 상기 자석부에 상기 전자기력을 발생시키는 코일부를 포함한다.