发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICES AND THE METHOD OF FORMING THE SAME
摘要 반도체 소자의 제1 질화물 반도체층은 기판 상에 제공되고, 제2 질화물 반도체층은 제1 질화물 반도체층 상에 제공되고, 제1 오믹메탈 및 제2 오믹메탈은 제2 질화물 반도체층 상에 제공되고, 리세스 영역은 제1 오믹메탈과 제2 오믹메탈 사이의 제2 질화물 반도체층 내에 제공되고, 패시베이션층은 제1 오믹메탈의 측면 및 리세스 영역의 하부면과 측면을 덮고, 쇼트키 전극은 제1 오믹메탈 상에 제공되고, 리세스 영역의 내부로 연장된다.
申请公布号 KR20170000423(A) 申请公布日期 2017.01.03
申请号 KR20150088941 申请日期 2015.06.23
申请人 한국전자통신연구원 发明人 정동윤;이현수;고상춘;김정진;김진식;나제호;남은수;문재경;박영락;배성범;이형석;장우진;장현규;전치훈
分类号 H01L29/872;H01L29/47 主分类号 H01L29/872
代理机构 代理人
主权项
地址