| 摘要 |
정밀 전류 측정기구인 피코 암페어 미터의 신뢰성을 평가하기 위한 평가 장치 및 평가 방법에 관하여 개시한다. 본 발명은 인가되는 전원 제어 신호에 따른 정전류를 출력하는 전원소스부; 상기 전원소스부의 출력 정전류를 인가되는 채널 제어 신호에 따라 피측정 대상기기인 복수개의 피코 암페어 미터로 분할하여 전달하는 다채널 멀티플렉서; 상기 다채널 멀티플렉서의 각 채널에 연결되는 복수개의 피코 암페어 미터; 및 상기 전원소스부로 인가되는 전원신호를 제공하며, 상기 다채널 멀티플렉서의 채널 제어 신호를 제공하고, 상기 복수개의 피코 암페어 미터의 측정결과값을 전달받아 저장하는 통합제어부;를 포함하는 피코 암페어 미터 신뢰성 평가 장치를 제공한다. |
