| 发明名称 | 一种微结构阵列的加工方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种微结构阵列的加工方法。所述方法包括下列步骤:（1）取一定量的乳化蜡，用雾化设备将乳化蜡雾化、均匀喷涂在待加工工件表面上，使雾化的乳化蜡液滴离散、均匀地附着于待加工工件表面上；（2）对待加工工件表面上的乳化蜡液滴进行固化处理，形成离散、均匀涂覆在待加工工件表面的蜡膜；（3）将附着有离散蜡膜的待加工工件置于电解槽中，通入电解液，以待加工工件为阳极、蜡膜为掩膜进行电解加工，未被蜡膜覆盖的区域被腐蚀出微结构；（4）微结构达到加工要求后，取出工件，清洗、干燥；（5）去除工件表面蜡膜，获得所需的微结构阵列。本发明提供的加工方法工艺简单、成本低，可以一次性加工大面积的微结构阵列。 | ||
| 申请公布号 | CN106270853A | 申请公布日期 | 2017.01.04 |
| 申请号 | CN201610837265.6 | 申请日期 | 2016.09.21 |
| 申请人 | 河南理工大学 | 发明人 | 秦歌;王冠;周红梅;周奎;赵西梅;李润清;明平美 |
| 分类号 | B23H9/00(2006.01)I;B23H3/00(2006.01)I | 主分类号 | B23H9/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 代理人 | ||
| 主权项 | 一种微结构阵列的加工方法，其特征是，包括下列步骤：（1）取一定量的乳化蜡，用雾化设备将乳化蜡雾化、均匀喷涂在待加工工件表面上，使雾化的乳化蜡液滴离散、均匀地附着于待加工工件表面上；（2）对待加工工件表面上的乳化蜡液滴进行固化处理，形成离散、均匀涂覆在待加工工件表面的蜡膜；（3）将附着有离散蜡膜的待加工工件置于电解槽中，通入电解液，以待加工工件为阳极、蜡膜为掩膜进行电解加工，未被蜡膜覆盖的区域被腐蚀出微结构；（4）微结构达到加工要求后，取出工件，清洗、干燥；（5）去除工件表面蜡膜，获得所需的微结构阵列。 | ||
| 地址 | 454003 河南省焦作市高新区世纪大道2001号 | ||