发明名称 | 一种PDMS微流控芯片的制作方法 | ||
摘要 | 本发明涉及一种PDMS微流控芯片的制作方法,首先使用普通加工方式加工出带有毫米级结构的母模,在母模上浇筑PDMS并固化剥离得到原代的PDMS弹性印章,然后使用一种固化收缩型聚氨酯(Hydroshrink<sup>TM</sup>)浇注在原代PDMS弹性印章上制作PU弹性印章,使结构尺寸在毫米级的模板收缩至微米级,然后继续使用软刻蚀技术在PU弹性印章上浇筑PDMS并固化剥离,最后将固化的PDMS与玻璃键合,制作成可使用的系统封闭的PDMS微流控芯片。本发明使用PU材料制作软刻蚀技术中的弹性印章,使尺寸在毫米级别的结构收缩至微米级别,摆脱了传统方法中光刻等微加工技术来制作微流控芯片,大大降低了芯片制作的成本,简化了操作工艺,也避免了开放系统的芯片在使用时易受到影响的问题。 | ||
申请公布号 | CN106268991A | 申请公布日期 | 2017.01.04 |
申请号 | CN201610680183.5 | 申请日期 | 2016.08.17 |
申请人 | 西北工业大学 | 发明人 | 谢彦博;孙淼 |
分类号 | B01L3/00(2006.01)I | 主分类号 | B01L3/00(2006.01)I |
代理机构 | 西北工业大学专利中心 61204 | 代理人 | 王鲜凯 |
主权项 | 一种PDMS微流控芯片的制作方法,其特征在于步骤如下:步骤1:制作带有毫米级结构的母模;步骤2:在母模上浇筑PDMS混合液,加热至60℃保持4‑5h后固化剥离得到原代的PDMS弹性印章;所述PDMS混合液是重量比10:1的PDMS预聚物和固化剂的混合液;步骤3:将原代弹性印章放置在真空浇筑装置中并密封,抽真空使得真空度至少为6Kgf/cm<sup>2</sup>;然后将PU和去气冷藏水的混合溶液浇筑于原代弹性印章腔体中,浇筑完成后使得PU溶液在腔体中凝固得到PU弹性体;所述PU和去气冷藏水的混合溶液的重量比为1:3~1:4,混合搅拌30s后立即进行浇筑;步骤4:将PU弹性体放置在温度为60℃的干燥环境中蒸发水分,水分完全蒸发后尺寸收缩至原尺寸的1/2得到小尺寸的弹性体;步骤5:将小尺寸的PU弹性体放入培养皿中,浇注步骤2中所述的PDMS预聚物和固化剂的混合液,60℃加热4‑5h固化剥离得到PDMS芯片;步骤6:将制得的PDMS芯片裁剪和打孔,分别使用丙酮、乙醇、纯水的超声清洗后用等离子体清洗表面,与玻璃键合,得到微流控系统。 | ||
地址 | 710072 陕西省西安市友谊西路127号 |