- THERMALLY TOLERANT PERPENDICULAR MAGNETIC ANISOTROPY COUPLED ELEMENTS FOR SPIN-TRANSFER TORQUE SWITCHING DEVICE

摘要

수직 자기 이방성(PMA) 유형 자기 랜덤 액세스 메모리 셀들은, 허용가능한 열 배리어를 갖는 자기 터널 접합(MTJ, 102)을 제공하기 위해 복합 PMA 층으로 구성된다. 복합 PMA 층을 형성하기 위해 제 1 PMA 층(108)과 제 2 PMA 층(112) 사이에 PMA 커플링 층(110)이 증착된다. 복합 PMA 층은, PMA 유형 MRAM 셀들 또는 면-내 유형 MRAM 셀들에 통합될 수 있다.