| 发明名称 |
PROTECTIVE TAPE JOINING METHOD AND PROTECTIVE TAPE JOINING APPARATUS |
| 摘要 |
보유 지지 테이블의 상방으로 공급된 보호 테이프의 부착 개시측의 소정 위치에 있어서의 테이프 높이를 테이프 높이 검출 기구에 의해 검출하고, 검출된 테이프 높이가 미리 설정된 높이 범위 내에 포함되도록 테이프 높이 검출 결과에 기초하여 부착 개시측 위치에서의 테이프 높이를 조절한다. |
| 申请公布号 |
KR101692074(B1) |
申请公布日期 |
2017.01.02 |
| 申请号 |
KR20100047214 |
申请日期 |
2010.05.20 |
| 申请人 |
닛토덴코 가부시키가이샤 |
发明人 |
야마모또 마사유끼;이시이 나오끼 |
| 分类号 |
H01L21/67;H01L21/66;H01L21/683;H01L23/00;H01L23/495 |
主分类号 |
H01L21/67 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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