| 摘要 |
주표면인 표ㆍ이면과 4개의 단면과의 6면을 갖는 박판 형상을 이룬 마스크 블랭크용 글래스 기판의 상기 어느 하나의 단면으로부터 파장이 200㎚ 이하의 파장의 광인 검사광을 상기 글래스 기판 내에 도입하고, 그 검사광에 의해 글래스 기판의 내부 결함으로부터 발생되는 형광을 검출하고, 검출한 형광에 기초하여 글래스 기판의 내부 결함을 검출한다. 그때에, 상기 단면으로부터 입사하는 검사광을, 글래스 기판의 표ㆍ이면에 대하여 2.0°∼4.0° 기울어지게 한다. |
