| 摘要 |
기판 상에 금속 나노입자들을 형성하는 방법이 개시된다. 기판 상에 순차적으로 친수성 고분자층과 고분자 자기조립층을 형성한다. 고분자 자기조립층에 대한 용매-증기 어닐링을 수행하여 고분자 자기조립층을 매트릭스 영역과 가용성 영역으로 상분리한다. 상분리된 가용성 영역은 용매 또는 식각용액에 대한 선택성을 가지고, 패턴의 전사가 가능해진다. 이를 통해 기판 상에 친수성 고분자 패턴을 형성할 수 있으며, 형성된 패턴 또는 홀에는 금속 전구체를 포함하는 마이셀이 형성된다. 마이셀은 산소 플라즈마 식각을 통해 금속 나노입자로 형성된다. |
