CLEANER COMPOSITION

摘要

본 발명은 세정액 조성물에 관한 것으로서, 구체적으로는 금속의 화학적 기계적 평탄화 공정 등에서 발생할 수 있는 금속 산화물과 금속 연마입자를 세정할 수 있는 세정액 조성물을 제공한다. 본 발명에 따른 세정액 조성물에 의하면, 금속 연마 입자에 대한 착화력을 증가시키고, 환원력을 유지시킴으로써 세정액의 안정성을 개선하여 금속 표면에 대한 방식력을 높인 세정 공정을 진행할 수 있다.