| 发明名称 | 一种化学气相沉积反应器 | ||
| 摘要 | 本发明提供了一种化学气相沉积反应器，包括反应器壳体和反应器壳体内部的内胆，所述内胆和壳体之间设有加热装置，反应器壳体的底部为底盘，底盘上设有支架，支架上设有托架，反应器壳体的底部设有进气装置，反应器壳体的顶部设有排气装置。所述加热装置和反应器壳体之间设有隔热部件。所述底盘中部设有转动盘，转动盘上端连接到支架，转动盘下端连接转动部件。所述进气装置包括设置在底盘上的反应气体进口和稀释气体进口。 | ||
| 申请公布号 | CN106191808A | 申请公布日期 | 2016.12.07 |
| 申请号 | CN201610805996.2 | 申请日期 | 2016.09.05 |
| 申请人 | 江苏协鑫特种材料科技有限公司;江苏鑫华半导体材料科技有限公司 | 发明人 | 于伟华;田新;张春伟;江扣龙;王彬 |
| 分类号 | C23C16/32(2006.01)I;C23C16/458(2006.01)I | 主分类号 | C23C16/32(2006.01)I |
| 代理机构 | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人 | 肖明芳 |
| 主权项 | 一种化学气相沉积反应器，其特征在于，包括反应器壳体(5)和反应器壳体(5)内部的内胆(12)，所述内胆和反应器壳体(5)之间设有加热装置(7)，反应器壳体(5)的底部为底盘(3)，底盘(3)上设有支架(10)，支架(10)上设有托架(11)，反应器壳体(5)的底部设有进气装置，反应器壳体(5)的顶部设有排气装置。 | ||
| 地址 | 221000 江苏省徐州市鼓楼区经济技术开发区杨山路66号 | ||