发明名称 |
一种高导热的功率器件封装结构和制作方法 |
摘要 |
本发明公开了一种高导热的功率器件封装结构,功率器件通过金硅或金锗共晶层连接到热沉上,功率器件的衬底为非硅和非锗衬底;同时也公开了该结构的制作方法,包括步骤1,功率器件背金和热沉镀层处理;步骤2,将经过背金处理的功率器件以及镀层处理的热层,进行金硅或金锗共晶焊。本发明通过优化非硅和非锗衬底功率器件背金工艺和热沉镀层工艺,实现高导热的金硅共金焊,可以满足大功率散热需求的低成本封装方法。 |
申请公布号 |
CN106206495A |
申请公布日期 |
2016.12.07 |
申请号 |
CN201610709649.X |
申请日期 |
2016.08.24 |
申请人 |
昆山华太电子技术有限公司 |
发明人 |
李琳松;张耀辉 |
分类号 |
H01L23/40(2006.01)I;H01L21/48(2006.01)I |
主分类号 |
H01L23/40(2006.01)I |
代理机构 |
南京纵横知识产权代理有限公司 32224 |
代理人 |
董建林 |
主权项 |
一种高导热的功率器件封装结构,其特征在于:功率器件通过金硅或金锗共晶层连接到热沉上,功率器件的衬底为非硅和非锗衬底。 |
地址 |
215300 江苏省苏州市昆山市周庄镇秀海路188号 |