发明名称 一种高导热的功率器件封装结构和制作方法
摘要 本发明公开了一种高导热的功率器件封装结构,功率器件通过金硅或金锗共晶层连接到热沉上,功率器件的衬底为非硅和非锗衬底;同时也公开了该结构的制作方法,包括步骤1,功率器件背金和热沉镀层处理;步骤2,将经过背金处理的功率器件以及镀层处理的热层,进行金硅或金锗共晶焊。本发明通过优化非硅和非锗衬底功率器件背金工艺和热沉镀层工艺,实现高导热的金硅共金焊,可以满足大功率散热需求的低成本封装方法。
申请公布号 CN106206495A 申请公布日期 2016.12.07
申请号 CN201610709649.X 申请日期 2016.08.24
申请人 昆山华太电子技术有限公司 发明人 李琳松;张耀辉
分类号 H01L23/40(2006.01)I;H01L21/48(2006.01)I 主分类号 H01L23/40(2006.01)I
代理机构 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 代理人 董建林
主权项 一种高导热的功率器件封装结构,其特征在于:功率器件通过金硅或金锗共晶层连接到热沉上,功率器件的衬底为非硅和非锗衬底。
地址 215300 江苏省苏州市昆山市周庄镇秀海路188号