防离子溅射的微型潘宁离子源

摘要

本实用新型提供一种防离子溅射的微型潘宁离子源，阴极的形状为圆形台阶状，所述绝缘陶瓷环包含外陶瓷环和内陶瓷环，外陶瓷环包括一个水平圆环，沿水平圆环外沿上表面设置有筒状陶瓷环，沿水平圆环内沿下表面设置有筒状陶瓷环；内陶瓷环为筒状陶瓷环垂直设置在外陶瓷环水平圆环的上表面处，内陶瓷环的外侧与外陶瓷环的内侧有间距，外陶瓷环和内陶瓷环为一体结构。本实用新型绝不会存在因离子溅射而使阴阳极之间发生短路现象。

主权项

一种防离子溅射的微型潘宁离子源，包括阳极筒、阴极、输出阴极、离子源罩、封接环、定位环、主磁钢、磁环和绝缘陶瓷环，其特征在于：所述阴极的形状为圆形台阶状，所述绝缘陶瓷环包含外陶瓷环和内陶瓷环，外陶瓷环包括一个水平圆环，沿水平圆环外沿上表面设置有筒状陶瓷环，沿水平圆环内沿下表面设置有筒状陶瓷环；内陶瓷环为筒状陶瓷环垂直设置在外陶瓷环水平圆环的上表面处，内陶瓷环的外侧与外陶瓷环的内侧有间距，外陶瓷环和内陶瓷环为一体结构。