| 摘要 |
본 발명은 기재(1) 상에 중합체 코팅을 형성하는 방법에 관한 것이다. 본 방법은 비어 있는 반응 챔버(3)에 코팅될 표면(2)이 있는 기재(1)를 제공하는 단계; 및 중합체 형성 물질(6)의 제1 공급원(5)과 라디칼(8)의 제2 공급원(7)을 제공하는 단계를 포함한다. 본 발명에 따라 제1 공급원(5)과 제2 공급원(7)을 서로 그리고 반응 챔버(3)으로부터 분리하고, 라디칼(8) 뿐만 아니라 중합체 형성 물질(6)을 적어도 일시적으로 동시에 수행하지만 기재의 표면(2)에 대해 공간적으로 분리시켜, 그 결과 라디칼(8)과 중합체 형성 물질(6)의 반응은 이들이 기재의 표면(2)에 도달하기 전에 방지된다. 또한, 본 발명은 본 발명에 따른 방법을 수행하기 위한 장치(100)에 관한 것이다. |
