| 摘要 |
본 발명의 일 실시예는 기판상에 나노 박막을 배치하는 단계; 상기 나노 박막을 주사탐침열현미경(scanning thermal microscope, SThM)의 탐침(thermoelectric probe)으로 가열하는 단계; 상기 탐침에 높이 방향의 변위가 발생하면, 상기 탐침으로부터 상기 나노 박막으로 전달된 열량과, 상기 탐침과 접촉하고 있던 상기 나노 박막의 일 면 상의 온도를 산출하는 단계; 및 상기 탐침으로부터 상기 나노 박막으로 전달된 열량 및 상기 탐침과 접촉하고 있던 상기 나노 박막의 일 면 상의 온도를 이용하여, 상기 나노 박막의 두께 방향 열전도도를 측정하는 단계;를 포함하는, 나노 박막의 두께 방향 열전도도 측정 방법을 개시한다. |
