正型抗蚀剂组合物以及微透镜的制造方法

摘要

本发明的课题是提供透明性、耐热性和折射率优异的、特别适合用于形成微透镜和形成平坦化膜的正型抗蚀剂组合物，以及由该正型抗蚀剂组合物形成的微透镜和平坦化膜。作为本发明的解决课题的方法是，一种正型抗蚀剂组合物，其包含下述成分(A)、成分(B)和成分(C)：成分(A)：包含具有联苯结构的结构单元的碱溶性聚合物；成分(B)：具有光分解而产生碱溶性基团的有机基团的化合物；成分(C)：溶剂。还可以是，上述正型抗蚀剂组合物，其中，成分(A)的碱溶性聚合物是包含式(1)所示结构单元的聚合物，且当将构成聚合物(A)的结构单元的总数设为1.0时，构成聚合物(A)的式(1)所示结构单元的比例n1满足0.3≤n1≤1.0。

主权项

一种正型抗蚀剂组合物，其包含下述成分(A)、成分(B)、成分(C)和成分(D)：成分(A)：包含具有联苯结构的结构单元的碱溶性聚合物；成分(B)：具有能够进行光分解、并在光分解时产生碱溶性基团的有机基团的化合物；成分(C)：溶剂；成分(D)：具有2个以上能够与成分(A)热交联的取代基的交联性化合物，其中，成分(A)的碱溶性聚合物是包含式(2)所示结构单元和式(3)所示结构单元的聚合物(A1)，且当将构成聚合物(A1)的全部结构单元的总数设为1.0时，构成聚合物(A1)的式(2)所示结构单元的比例n2和式(3)所示结构单元的比例n3满足0.2≤n2≤0.8、0.1≤n3≤0.7、且0.3≤n2+n3≤1.0，式(2)中，R₁表示卤原子、烷基、烷氧基、巯基、氰基、氨基、酰胺基、烷基羰基、烷硫基或它们的组合，R₂表示羧基或羟基，R₃表示氢原子或甲基；Q₁表示单键或2价连接基；m2为0～5的整数，m4为0～4的整数，且(m2+m4)是0～9的整数；m1为满足0≤m1≤(5‑m2)的整数，m3为满足0≤m3≤(4‑m4)的整数，式(3)中，R₄、R₅分别表示氢原子、甲基、羧基或碳原子数为1～3的羧烷基，Q₂表示单键、碳原子数为1～3的亚烷基或碳原子数为6～20的亚芳基。