激光辅助锡介质LDP通过磁力拖动电极的放电真空室

摘要

激光辅助锡介质LDP通过磁力拖动电极的放电真空室，涉及毛细管放电EUV光源技术，为了解决现有装置无法实现在真空的状态下拖动Sn靶的问题。Sn靶的拖动装置采用磁力拖动结构实现，磁力拖动结构包括电机、磁性圆盘和圆形支架，Sn靶设置在圆形支架上，圆形支架上设置有磁铁，磁性圆盘固定在电机的转轴上，电机的转轴的轴线与磁性圆盘的轴线重合，磁性圆盘与圆形支架平行，电机和磁性圆盘位于放电真空室的外部，圆形支架位于放电真空室的内部。本发明的结构简单，控制精确，适用于锡介质极紫外光源系统。

主权项

激光辅助锡介质LDP通过磁力拖动电极的放电真空室，其特征在于，Sn靶的拖动装置采用磁力拖动结构实现，磁力拖动结构包括电机、磁性圆盘和圆形支架，Sn靶设置在圆形支架上，圆形支架上设置有磁铁，磁性圆盘固定在电机的转轴上，电机的转轴的轴线与磁性圆盘的轴线重合，磁性圆盘与圆形支架平行，电机和磁性圆盘位于放电真空室的外部，圆形支架位于放电真空室的内部。