发明名称 |
一种基于石墨烯夹层式红外吸收层的红外探测器 |
摘要 |
本发明公开了一种基于石墨烯夹层式红外吸收层的红外探测器,还公开了该红外探测器的制备方法。基于石墨烯夹层式红外吸收层包括热敏层,所述热敏层上方覆盖有石墨烯薄膜,下方贴附有Si<sub>3</sub>N<sub>4</sub>薄膜。到达热敏层的红外线有三种途径:部分红外线反射回石墨烯层,部分被热敏层吸收红生热,剩余的红外线透过热敏层辐照到Si<sub>3</sub>N<sub>4</sub>薄膜。本发明是让从热敏层反射和透射的红外线,尽可能又重新被反射回热敏层,形成“温室效应”的腔体结构。 |
申请公布号 |
CN106206830A |
申请公布日期 |
2016.12.07 |
申请号 |
CN201610566175.8 |
申请日期 |
2016.07.19 |
申请人 |
中国科学院重庆绿色智能技术研究院 |
发明人 |
周大华;魏兴战;冯双龙;申钧;杨俊;史浩飞;杜春雷 |
分类号 |
H01L31/101(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I |
主分类号 |
H01L31/101(2006.01)I |
代理机构 |
北京元本知识产权代理事务所 11308 |
代理人 |
黎昌莉 |
主权项 |
一种基于石墨烯夹层式红外吸收层,包括热敏层,其特征在于:所述热敏层上方覆盖有石墨烯薄膜,下方贴附有Si<sub>3</sub>N<sub>4</sub>薄膜。 |
地址 |
400714 重庆市北碚区方正大道266号 |