发明名称 一种基于石墨烯夹层式红外吸收层的红外探测器
摘要 本发明公开了一种基于石墨烯夹层式红外吸收层的红外探测器,还公开了该红外探测器的制备方法。基于石墨烯夹层式红外吸收层包括热敏层,所述热敏层上方覆盖有石墨烯薄膜,下方贴附有Si<sub>3</sub>N<sub>4</sub>薄膜。到达热敏层的红外线有三种途径:部分红外线反射回石墨烯层,部分被热敏层吸收红生热,剩余的红外线透过热敏层辐照到Si<sub>3</sub>N<sub>4</sub>薄膜。本发明是让从热敏层反射和透射的红外线,尽可能又重新被反射回热敏层,形成“温室效应”的腔体结构。
申请公布号 CN106206830A 申请公布日期 2016.12.07
申请号 CN201610566175.8 申请日期 2016.07.19
申请人 中国科学院重庆绿色智能技术研究院 发明人 周大华;魏兴战;冯双龙;申钧;杨俊;史浩飞;杜春雷
分类号 H01L31/101(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I 主分类号 H01L31/101(2006.01)I
代理机构 北京元本知识产权代理事务所 11308 代理人 黎昌莉
主权项 一种基于石墨烯夹层式红外吸收层,包括热敏层,其特征在于:所述热敏层上方覆盖有石墨烯薄膜,下方贴附有Si<sub>3</sub>N<sub>4</sub>薄膜。
地址 400714 重庆市北碚区方正大道266号