| 摘要 |
LTCC 기반의 유전영동 미세유체소자 제조 방법에 대하여 개시한다. 본 발명에 따른 LTCC 기반의 유전영동 미세유체소자 제조 방법은 (a) 소성되지 않은 상태의 LTCC(Low Temperature Co-fired Ceramics)용 세라믹 기판을 마련하는 단계; (b) 상기 세라믹 기판 상에, 서로 이격된 제1 전극 패턴 및 제2 전극 패턴을 형성하는 단계; 및 (c) 상기 제1 전극 패턴, 상기 제2 전극 패턴 및 상기 세라믹 기판을 동시 소성하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 한다. |
