油旋转式真空泵

摘要

公开了一种旋转式真空泵装置，其特征在于，基于三件式油冷却结构可确保稳定的泵环境，其中在每个泵模块部件处形成冷却水套，以及将冷却水循环通过冷却水套，以及在泵模块处产生的热量可直接被冷却，因此防止泵模块的温度升高，且同时由于油可在真空油与泵模块的冷却水套接触的接触表面处被冷却，且同时由油泵传送的油被引导以沿暴露于冷却水套的油通道流动，以由此使用冷却水套的冷却水将油冷却，藉此，可防止泵模块的温度升高。此外，泵体和第一级气缸整合成单个部件的形式，所以各部件的数量可减少同时节省制造成本。

主权项

一种使用真空油的旋转式真空泵，包括：泵体缸，所述泵体缸构造成具有单体形式的1级(第一)缸体；油壳体，所述油壳体固定到所述泵体缸的一侧；中间板，所述中间板固定到所述油壳体内所述1级(第一)气缸的一侧；2级(第二)气缸，所述2级(第二)气缸固定到所述中间板的一侧；固定的后盖，所述固定的后盖覆盖所述2级(第二)气缸的一侧；前盖，所述前盖固定到所述泵体缸的外侧；油泵壳体，所述油泵壳体固定到所述前盖的一侧；油密封盖，所述油密封盖固定到所述油泵壳体的一侧；电动机壳体，所述电动机壳体固定到所述泵体缸，同时围绕并封围所述油泵壳体和所述油密封盖；第一转子，所述第一转子穿过所述油泵壳体、所述油密封盖和所述1级(第一)气缸并使用所述油泵壳体在轴承的辅助下被可转动地支承；电动机，所述电动机固定在所述电动机壳体(4)处从而驱动所述第一转子；第二转子，所述第二转子与所述第一转子一体形成并在所述中间板处借助于轴承被可转动地支承并朝向所述2级(第二)气缸延伸；第一叶片，所述第一叶片由所述1级(第一)气缸内的所述第一转子转动并与所述1级(第一)气缸的内壁紧密接触，并抽吸、压缩和排出气体；吸气端口，所述吸气端口设置在所述泵体缸处，从而用于将从所述真空设备抽吸的气体供给到所述1级(第一)气缸；第二叶片，所述第二叶片由所述第二转子转动并与所述2级(第二)气缸的所述内壁紧密接触，并抽吸、压缩和排出从所述1级(第一)气缸传送的气体；排出端口，所述排出端口形成在所述油壳体处，从而将从所述2级(第二)气缸排出的气体排出到外部；1级(第一)气缸冷却水套，所述1级(第一)气缸冷却水套形成在所述1级(第一)气缸处；中间板冷却水套，所述中间板冷却水套形成在所述中间板处；2级(第二)气缸冷却水套，所述2级(第二)气缸冷却水套形成在所述2级(第二)气缸处；后盖冷却水套，所述后盖冷却水套形成在所述后盖处；以及多个冷却水通道，所述多个冷却水通道构造成引导所述冷却水循环通过各所述冷却水套；其中所述油壳体和所述泵体缸各包括油存储空间，以用于所述第一和2级(第二)气缸、所述中间板和所述后盖以浸在所述真空油下。