发明名称 一种晶体硅太阳能电池扩散炉
摘要 本实用新型公开了一种晶体硅太阳能电池扩散炉,所述晶体硅太阳能电池扩散炉包括带有炉门的立式炉腔、加热器、第一立式石英舟、第二立式石英舟、由电机驱动旋转的支架;所述炉门设有进气管,立式炉腔设有排气管;所述第一立式石英舟、第二立式石英舟与支架固定连接;所述加热器固定在立式炉腔外侧。与现有技术相比,本实用新型采用立式结构和旋转支架,使得硅片和反应气体的接触更加充分,使得扩散反应更加均匀;采用并排两个立式石英舟的设计方式,在保证扩散均匀性的情况下,大大提高扩散的产能。
申请公布号 CN205774933U 申请公布日期 2016.12.07
申请号 CN201620459678.0 申请日期 2016.05.18
申请人 广东爱康太阳能科技有限公司 发明人 石强;秦崇德;方结彬;黄玉平;何达能;陈刚
分类号 C30B31/06(2006.01)I;C30B31/14(2006.01)I;C30B31/16(2006.01)I 主分类号 C30B31/06(2006.01)I
代理机构 佛山市中迪知识产权代理事务所(普通合伙) 44283 代理人 张伶俐
主权项 一种晶体硅太阳能电池扩散炉,其特征在于,所述晶体硅太阳能电池扩散炉包括带有炉门的立式炉腔、加热器、第一立式石英舟、第二立式石英舟、由电机驱动旋转的支架;所述炉门设有进气管,立式炉腔设有排气管;所述第一立式石英舟、第二立式石英舟与支架固定连接;所述加热器固定在立式炉腔外侧。
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