| 摘要 |
본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 장치는, 기판이 로딩되는 지지부, 상기 기판으로 광을 입사시켜 이미지 정보를 획득하고, 상기 이미지 정보로부터 상기 기판의 이상 여부를 감지하는 광 측정부, 상기 지지부 및 상기 광 측정부를 제어하고, 상기 광 측정부로부터 전송받은 상기 이미지 정보를 처리하는 제어부를 포함하되, 상기 제어부는, 상기 이미지 정보로부터 이상 신호가 검출되면 상기 기판에 진행되는 공정을 중단하는 인터락(interlock)을 발생시키는 인터락 제어부를 포함한다. |
