发明名称 |
一种电容式麦克风芯片 |
摘要 |
本实用新型涉及一种电容式麦克风芯片,包括具有背腔的衬底,在所述衬底上设有位于背腔上方的背极、振膜;其中,所述振膜通过弹性部支撑在所述衬底上,该弹性部沿着与振膜垂直的方向延伸;所述背极、振膜之间具有间隙,二者构成了电容结构。本实用新型的电容式麦克风芯片,通过弹性部在竖直方向上将振膜支撑起来,在腐蚀牺牲层释放振膜的时候可以减小振膜的膜内应力;通过该弹性部还提高了振膜在竖直方向上的振动能力,从而提高了产品的灵敏度;通过设置的弹性部,还可以减少外界气压对振膜的冲击力,提高了振膜抗吹气的能力。 |
申请公布号 |
CN205754849U |
申请公布日期 |
2016.11.30 |
申请号 |
CN201620450092.8 |
申请日期 |
2016.05.17 |
申请人 |
歌尔股份有限公司 |
发明人 |
解士翔 |
分类号 |
H04R19/04(2006.01)I |
主分类号 |
H04R19/04(2006.01)I |
代理机构 |
北京博雅睿泉专利代理事务所(特殊普通合伙) 11442 |
代理人 |
王昭智;马佑平 |
主权项 |
一种电容式麦克风芯片,其特征在于:包括具有背腔的衬底(1),在所述衬底(1)上设有位于背腔上方的背极(4)、振膜(2);其中,所述振膜(2)通过弹性部(3)支撑在所述衬底(1)上,该弹性部(3)沿着与振膜(2)垂直的方向延伸;所述背极(4)、振膜(2)之间具有间隙,二者构成了电容结构。 |
地址 |
261031 山东省潍坊市高新技术开发区东方路268号 |