| 摘要 |
본 발명은, 압력 변동 흡착법을 이용해서 목적 성분을 함유하는 혼합 가스로부터 목적 가스를 정제함에 있어서, 고순도 목적 가스를 효율적으로 회수하면서 흡착제의 정제 능력을 저하시키는 불순물 성분에 의한 영향을 방지하는 것을 과제로 한다. 본 발명의 방법은, 불순물 성분을 선택적으로 흡착하는 흡착제가 충전된 복수의 흡착 유닛을 이용해서 행하는 압력 변동 흡착법에 의해, 흡착 유닛이 상대적으로 고압인 상태에서, 흡착 유닛에 혼합 가스를 도입해서 해당 혼합 가스 중의 불순물 성분을 흡착제에 흡착시켜, 해당 흡착 유닛으로부터 상기 목적 성분이 풍부화된 가스를 배출하는 흡착 공정과, 흡착 유닛을 감압시켜 해당 흡착 유닛으로부터 가스를 배출하는 감압 공정을 포함하는 사이클을 흡착 유닛의 각각에 있어서 반복해서 행하며, 각 흡착 유닛은, 직렬로 연결된 제1 및 제2 흡착조(10A 내지 10D, 20A 내지 20D)를 포함하고, 감압 공정에 있어서, 제1 및 제2 흡착조 사이에 설치된 개폐 밸브(16)에 의해, 제1 및 제2 흡착조가 연통하는 상태와 연통하지 않는 상태로 전환한다. |
