Brush and semiconductor production apparatus comprising the same

摘要

본 발명은 브러쉬를 제공한다. 브러쉬는 원통형의 코어부, 상기 코어부를 둘러싸는 제 1 다공질 영역 및 상기 제 1 다공질 영역을 둘러싸고, 상면에 복수개로 제공된 돌출부들을 갖는 제 2 다공질 영역을 포함하고, 상기 제 1 다공질 영역과 상기 제 2 다공질 영역은 서로 다른 소재로 제공되고, 상기 돌출부들의 각각은 상기 돌출부들의 상면에서 상기 제 2 다공질 영역의 상기 상면까지 관통하는 홀을 가질 수 있다.