| 发明名称 |
ブロック共重合体自己組織化方法、パターン化基板およびパターン化テンプレート |
| 摘要 |
Patterned substrates templates are provided, as well as methods comprising a combination of lithography and self-assembly techniques. The patterned substrates may comprise first and second patterns. |
| 申请公布号 |
JP6034355(B2) |
申请公布日期 |
2016.11.30 |
| 申请号 |
JP20140245100 |
申请日期 |
2014.12.03 |
| 申请人 |
シーゲイト テクノロジー エルエルシーＳｅａｇａｔｅ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ ＬＬＣ |
发明人 |
シャオ・シャイガン;シャオミン・ヤン;シュウ・ユエン;ワン・レイ |
| 分类号 |
G11B5/84;C08F293/00;G11B5/855;H01L21/027 |
主分类号 |
G11B5/84 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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