| 发明名称 | 分段式边缘保护屏蔽件 | ||
| 摘要 | 本申请涉及分段式边缘保护屏蔽件。分段式边缘保护屏蔽件用于等离子体切割晶圆。该分段式边缘保护屏蔽件包括外结构和多个等离子体屏蔽边缘区段。外结构限定被配置为与晶圆的圆周边缘对应的内环形边缘。多个等离子体屏蔽边缘区段中的每一个都通过内边缘和侧边缘来限定。内边缘在外结构的环形边缘内并与环形边缘同心。侧边缘在内边缘和环形边缘之间延伸。 | ||
| 申请公布号 | CN106169444A | 申请公布日期 | 2016.11.30 |
| 申请号 | CN201610339357.1 | 申请日期 | 2016.05.19 |
| 申请人 | 英飞凌科技股份有限公司 | 发明人 | M·恩格尔哈特;G·埃伦特劳特;M·勒斯纳 |
| 分类号 | H01L21/78(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/78(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人 | 郑立柱;董典红 |
| 主权项 | 一种用于等离子体切割晶圆的分段式边缘保护屏蔽件，包括：外结构，限定被配置为与所述晶圆的圆周边缘对应的内环形边缘；以及多个等离子体屏蔽边缘区段，其中所述多个等离子体屏蔽边缘区段中的每一个都通过内边缘和侧边缘来限定，所述内边缘在所述环形边缘内且与所述环形边缘同心，并且所述侧边缘在所述内边缘和所述环形边缘之间延伸。 | ||
| 地址 | 德国诺伊比贝尔格 | ||