用于处理工艺废气的洗涤器

摘要

本发明提供一种用于处理工艺废气的洗涤器，该洗涤器包括：等离子体处理单元，使等离子体接触工艺废气并分解所述工艺废气；冷却单元，冷却被所述等离子体处理单元分解后流入的所述工艺废气，以捕集反应副产物；以及，反应单元，使从所述冷却单元流出的工艺废气接触胺系物质，通过酸碱反应去除所述工艺废气中包括的水溶性气体。

主权项

一种用于处理工艺废气的洗涤器，其特征在于，包括：等离子体处理单元，使等离子体接触工艺废气而分解所述工艺废气；冷却单元，冷却被所述等离子体处理单元分解后流入的所述工艺废气，以捕集反应副产物；以及反应单元，使从所述冷却单元流出的工艺废气接触胺系物质，通过酸碱反应去除所述工艺废气中含有的水溶性气体，其中，所述冷却单元包括：冷却外壳，使从等离子体处理单元流出的所述工艺气体流入；第一冷却板，对流入的所述工艺废气进行一次冷却，以捕集工艺废气的反应副产物；以及第二冷却板，对通过所述第一冷却板的所述工艺废气进行二次冷却，以捕集所述工艺废气的反应副产物。