一种大功率直流等离子体电源

摘要

本实用新型涉及一种大功率直流等离子体电源，包括n组串联的PSM模块、平波电感、第一电流测量模块和反馈控制保护系统，电网电压经真空断路器与整流变压器的输入端相连，整流变压器的输出端分别连接至每组PSM模块的输入端，n组串联的PSM模块的输出经平波电感连接至输出电极，所述第一电流测量模块安装在主回路母线上，所述反馈保护系统的输入端与第一电流测量模块相连，其输出端分别与PSM模块的控制端相连。本实用新型电源输出电压范围大，输出功率可达MW级，具有很好的动态特性、很短的反应时间，能快速响应等离子体负载的剧大扰动，具备很好的电流控制特性，保证了等离子体产品的质量。

主权项

一种大功率直流等离子体电源，其特征在于：包括n组串联的PSM模块（2）、平波电感（7）、第一电流测量模块（8）和反馈控制保护系统，电网电压经真空断路器（1）与整流变压器（3）的输入端相连，整流变压器（3）的输出端分别连接至每组PSM模块（2）的输入端，n组串联的PSM模块（2）的输出经平波电感（7）连接至输出电极，所述第一电流测量模块（8）安装在主回路母线上，用于测量电源输出电流，并按比例转换成电压输出后连接至反馈控制保护系统，所述反馈控制保护系统的输入端与第一电流测量模（8）相连，其输出端分别与PSM模块（2）的控制端相连。