欠陥検査装置、及び欠陥検査方法

摘要

【課題】欠陥全体の２次元画像を取得することなく、欠陥の特徴量を求めることを可能にする欠陥検出装置、及び欠陥検査方法を提供する。【解決手段】欠陥検査装置は、検査対象物の画像を読み取るラインセンサと、前記ラインセンサから入力されたデータを２値化する２値化部と、前記２値化部により２値化されたデータをランレングス符号化するランレングス符号化部と、前記ランレングス符号を連結性処理することにより、欠陥の特徴量を測定する連結性処理部と、を有する。【選択図】図１