| 摘要 |
본 발명의 실시예에 따른 처짐방지 구조를 갖는 박막시트 흡착 시스템에 의하면, 메인프레임, 상기 메인프레임의 양측에 각각 배치되고, 이들 사이에 서로 거리가 늘어나거나 줄어들도록 적어도 하나가 이동가능하게 배치되는 제1,2보조프레임, 공기를 흡입하거나 분사하여 박막시트의 양측을 흡착하도록 상기 제1,2보조프레임의 하부에 각각 배치되는 흡착부, 및 상기 메인프레임에서 상기 제1,2보조프레임 중 적어도 하나의 위치를 조절하여 상기 박막시트에 인가되는 장력을 조절하는 장력조절부를 포함할 수 있다. |
