| 摘要 |
본 발명은 미세입자 측정장치에 관한 것으로, 미세입자가 통과할 수 있는 단면적을 가지는 미세유체관, 상기 미세유체관에 형성되는 제 1 전극, 상기 제 1 전극으로부터 상기 미세입자가 주입되는 방향으로 소정의 거리만큼 이격된 위치에 형성되어 제 1 기준전압이 인가되는 제 2 전극, 상기 제 1 전극으로부터 상기 미세입자가 배출되는 방향으로 소정의 거리만큼 이격된 위치에 형성되는 제 3 전극, 상기 제 3 전극으로부터 상기 미세입자가 배출되는 방향으로 소정의 거리만큼 이격된 위치에 형성되어 제 2 기준전압이 인가되는 제 4 전극을 포함하고, 상기 각 전극들의 출력신호를 측정하는 센싱부; 및 상기 센싱부에 의해 측정된 신호를 분석하여 미세입자의 각 전극으로의 도달여부, 미세입자의 개수, 크기 또는 농도를 산출하는 하나 이상의 처리부;를 포함하고, 상기 처리부는, 상기 제 1 전극의 출력신호를 이용하여 통과한 미세입자의 개수,및 크기를 산출하며, 상기 제3 전극에 제1 역치 이상의 전류가 흐르는 제1 시간, 상기 제4 전극에 제2 역치 이상의 전류가 흐르는 제2 시간과, 상기 제1 시간과 상기 제2 시간 사이에 산출된 미세입자의 개수와, 상기 제3 전극과 제4 전극 사이의 상기 미세유체관의 부피를 이용하여 상기 미세입자의 농도를 산출할 수 있다. |
