一种光学元件表面高频振动共形加工装置和方法

摘要

本发明是一种光学元件表面高频振动共形加工装置和方法，该方法基于精密气缸、龙门架、高速马达、精密变频器、凸轮、摆臂、磨头和旋转台等部件，实现具有基底层、柔性层和抛光层的抛光磨头以一定压力紧贴工件表面做高频振动抛光。本发明高频振动共形抛光方法采用全口径共形覆盖式抛光，不受待加工工件表面特征的限制，能够对各种异形光学表面进行抛光，实现对待加工表面的高速材料去除，抛光效率较常规方法提高10‑50倍，同时对工件表面中高频误差具有平滑作用，适应于轴对称的中小口径平面、球面、非球面元件、异形元件的快速抛光和中高频误差抑制。

主权项

一种光学元件表面高频振动共形加工装置，其特征在于，包括精密气缸(1)、龙门架(2)、高速马达(3)、精密变频器(4)、凸轮(5)、摆臂(6)、磨头(7)、旋转台(8)及待加工工件(9)；精密气缸(1)、高速马达(3)、凸轮(5)、摆臂(6)和磨头(7)固定在龙门架(2)上；龙门架(2)固定在旋转台(8)正上方；磨头(7)固定在摆臂正下方；摆臂(6)固定在凸轮(5)上；高速马达(3)与凸轮(5)连接，高速马达(3)带动凸轮(5)旋转；凸轮(5)旋转带动摆臂(6)摆动，从而使固定在摆臂下方的磨头(7)以一定摆幅摆动；精密气缸(1)控制上下移动凸轮(5)、摆臂(6)和磨头(7)，使磨头(7)与待加工工件(9)表面贴合，进而控制磨头压在工件表面的压力大小；待加工工件(9)精确固定在旋转台(8)中心；精密变频器(4)与高速马达(3)相连，控制高速马达(3)的转速，从而控制磨头(7)的摆动频率。