| 发明名称 | 压电振动片的制造方法、压电振动片及压电振动器 | ||
| 摘要 | 本发明提供抑制频率调整后的频率变动并且振动特性优异的高质量的压电振动片的制造方法、压电振动片及压电振动器。其特征在于具有：第1频率调整工序，对于一对振动臂部（31）中形成在前端部的表面的频率调整用的重锤金属膜（40）进行离子研磨；以及第2频率调整工序，在第1频率调整工序后，以比第1频率调整工序小的蚀刻速率对重锤金属膜（40）进行离子研磨。 | ||
| 申请公布号 | CN106169917A | 申请公布日期 | 2016.11.30 |
| 申请号 | CN201610336582.X | 申请日期 | 2016.05.20 |
| 申请人 | 精工电子水晶科技股份有限公司 | 发明人 | 小林高志 |
| 分类号 | H03H3/02(2006.01)I;H03H9/02(2006.01)I;H01L41/22(2013.01)I;H01L41/27(2013.01)I | 主分类号 | H03H3/02(2006.01)I |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人 | 何欣亭;陈岚 |
| 主权项 | 一种压电振动片的制造方法，其特征在于，具有：第1频率调整工序，对于一对振动臂部中形成在前端部的表面的频率调整用的重锤金属膜进行离子研磨；以及第2频率调整工序，在所述第1频率调整工序后，以比所述第1频率调整工序小的蚀刻速率对所述重锤金属膜进行离子研磨。 | ||
| 地址 | 日本千叶县千叶市 | ||