发明名称 |
电镀设备 |
摘要 |
一种电镀设备,所述电镀设备包括基部,所述基部具有容器主体。包括隔膜壳的隔膜组件附接到隔膜板。隔膜提供在附接到所述隔膜壳的隔膜支撑件上。阳极组件包括阳极杯以及位于所述阳极杯中的一个或更多个阳极。阳极板被附接到所述阳极杯。位于所述阳极板的第一侧上的两个或更多个支柱能够与位于所述隔膜板上的支柱配件接合。位于所述阳极板的第二侧上的夹持件能够与位于所述隔膜板上的夹持件配件接合和从其中释放。所述阳极组件能够快速且容易地从所述处理器去除以便进行维护,而不干扰所述处理器的其他部件或将这些部件去除。 |
申请公布号 |
CN205741267U |
申请公布日期 |
2016.11.30 |
申请号 |
CN201620483294.2 |
申请日期 |
2016.05.25 |
申请人 |
应用材料公司 |
发明人 |
丹尼尔·J·伍德拉夫;格雷戈里·J·威尔逊;保罗·R·麦克休 |
分类号 |
C25D19/00(2006.01)I;C25D17/10(2006.01)I |
主分类号 |
C25D19/00(2006.01)I |
代理机构 |
北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 |
代理人 |
徐金国;赵静 |
主权项 |
一种电镀设备,所述电镀设备包括:基部,所述基部具有容器主体;隔膜组件,所述隔膜组件包括附接到隔膜板的隔膜壳和位于附接到所述隔膜壳的隔膜支撑件上的隔膜;和阳极组件,所述阳极组件包括阳极杯和位于所述阳极杯中的一个或更多个阳极、和附接到所述阳极杯的阳极板,其中两个或更多个支柱位于所述阳极板的第一侧上,其中每个支柱能够与位于所述隔膜板上的支柱配件接合,并且位于所述阳极板的第二侧上的至少一个夹持件能够与位于所述隔膜板上的夹持件配件接合和从其中释放。 |
地址 |
美国加利福尼亚州 |