发明名称 PHOTO SENSITIVE PASTE COMPOSITION AND PATTERN FORMING METHOD
摘要 (과제) 저렴하고, 그리고 박막이며, 저항치가 낮고, 고정세한 패턴을 유리 기판상에 형성 가능한 감광성 페이스트 조성물을 제공하는 것이다. (해결 수단) (A1) 50중량% 입자경이 2.0∼20.0㎛, 그리고 평균 두께가 0.1∼1.0㎛의 범위에 있는 플레이크 형상 알루미늄 분말, (C) 알칼리 가용성 수지, (D) 다관능 (메타)아크릴레이트 및, (E) 광중합 개시제를 함유하는 것을 특징으로 하는 감광성 페이스트 조성물 및 이 조성물을 사용한 패턴 형성 방법.
申请公布号 KR101681126(B1) 申请公布日期 2016.11.30
申请号 KR20090094821 申请日期 2009.10.06
申请人 제이에스알 가부시끼가이샤 发明人 구도우 카즈나리;야마시타 타카노리
分类号 G03F7/028;C08F2/48;G03F7/004;H01B1/00;H01B1/22;H01B13/00;H01J9/02;H01J11/12;H01J11/22;H01J11/24;H01J11/26;H01J11/34;H01L23/482 主分类号 G03F7/028
代理机构 代理人
主权项
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