发明名称 |
基于微光斑平行光束的微结构关键尺寸OCD测试系统 |
摘要 |
该发明公开了一种基于微光斑平行光束的微结构关键尺寸OCD测试系统,包括光源、压缩透镜组、待测周期结构、检测器及数据处理器。光源激励出光斑直径大小为4.9‑5.1mm的平行光,该光束通过压缩透镜组被压缩为直径为49‑51μm的平行光,此平行光入射到安置台上的待测周期结构表面,实现反射,检测器检测并提取反射光参数,最后通过数据处理器的电磁模拟/分析软件优化分析反射光参数,反衍出待测结构的关键尺寸。该发明直接实现微光斑平行光束的测试系统能够很大程度上提高OCD测试系统测试小尺寸结构的精度与速度。 |
申请公布号 |
CN103940337B |
申请公布日期 |
2016.11.30 |
申请号 |
CN201410165437.0 |
申请日期 |
2014.04.23 |
申请人 |
电子科技大学 |
发明人 |
陈树强;杨小君;邓浩 |
分类号 |
G01B11/00(2006.01)I |
主分类号 |
G01B11/00(2006.01)I |
代理机构 |
电子科技大学专利中心 51203 |
代理人 |
张杨 |
主权项 |
一种基于微光斑平行光束的微结构关键尺寸OCD测试系统,包括光源、压缩透镜组、待测周期结构、检测器及数据处理器,其特征在于光源激励出光斑直径大小为4.9‑5.1mm的平行光,该光束通过压缩透镜组被压缩为直径为49‑51μm的平行光,此平行光入射到安置台上的待测周期结构表面,实现反射,检测器检测并提取反射光参数,最后通过数据处理器的电磁模拟/分析软件优化分析反射光参数,反演出待测结构的关键尺寸;所述压缩透镜组包括第一透镜与第二透镜,两透镜中轴线重合,整体通光口径为3mm,透镜组外围环境为空气;第一透镜置于近光源侧,第二透镜置于远光源侧;第一透镜中,近光源侧的第一表面的曲率半径为15.63mm,第二表面的曲率半径为9.26mm,第三表面的曲率半径为1691.9mm;第一表面与第二表面之间的材料为氟化锂,中心厚度为28.78mm,边缘厚度为28.99mm;第二表面与第三表面之间材料为氟化钙,中心厚度为1.13mm,边缘厚度为0.64mm;第二透镜中,靠近第一透镜的第四表面的曲率半径为‑56.38mm,第五表面的边缘为平面,中间为球面,球面的曲率半径为2.21mm,第六表面边缘为平面,中间为球面,球面的曲率半径为0.42mm;第四表面与第五表面之间材料为石英,中心厚度为1mm,边缘厚度为3.29mm;第五表面与第六表面之间材料为氟化钙,中心厚度为30mm,边缘厚度为28.21mm;第一透镜与第二透镜之间为空气,两透镜的中心距离为1mm,边缘距离为0.92mm。 |
地址 |
611731 四川省成都市高新区(西区)西源大道2006号 |